WF6 በዋናነት በኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ውስጥ ለሚገኘው የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) የብረታ ብረት ቱንግስተን ሂደት እንደ ጥሬ ዕቃ ያገለግላል። WSi2 ከ WF6 የተሠራው በትላልቅ የተቀናጁ ወረዳዎች (ኤልኤስአይ) ውስጥ እንደ ሽቦ ቁሳቁስ ሆኖ ሊያገለግል ይችላል ፣ እና ለሴሚኮንዳክተር ኤሌክትሮዶች ፣ ፍሎራይን ጥሬ ዕቃዎች ለኬሚካል ወኪሎች ፣ ፖሊሜራይዜሽን ማነቃቂያዎች ፣ ኦፕቲካል ቁሶች ፣ ወዘተ.